SC-SU-I型磁控溅射仪

参数

目标

石英仓尺寸

150X120MM

样品台尺寸 70mm
溅射面积 50mm
最高真空度 5pa
可通气体 氩气,氮气等惰性气体
最高溅射速率 8nm/min
零件功率 200W
呆板尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)